• 浦江? 品牌系列高純氫氣

    1%PH3+H2 磷烷/氫氣混合氣

    浦江氣體推出 浦江? 品牌系列磷烷加氫氣混合氣

    磷烷/氫氣混合氣,根據用戶需要可以定制不同規格.品質為先,服務至上,值得信賴。資深技術人員提供用氣咨詢,供氣解決方案,配套設備一應俱全!可根據需求配制,貨源充足,及時配送!
    我們浦江特殊工業氣體的業務優勢:
    l 多重氣源,供應鏈穩定
    l 自有檢測中心,提供可靠的質量保證
    l 自有危險品運輸車隊與完善的物流體系保證及時供應
    l 多種容器包裝可以提供:鋼瓶、Y瓶、T瓶以及ISO罐箱與排管車
    l 韓國、日本以及國內專家的氣體使用咨詢
    l 配合瓶裝氣業務門店網點涵蓋范圍廣,提供客戶廠外倉儲服務
    l 配合客戶用氣計劃,為客戶做好庫存管理計劃

    1.磷烷氫氣混合氣簡介:

    磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。無色,劇毒,易燃燒氣體,帶有令人生厭的大蒜味。

    2.磷烷氫氣混合氣常見用途:

    在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。

    PH3:易燃、易爆、劇毒;其毒性數為:PEL/TLV 0.3×10, STEL 1×10,LC5020×1O,ZDLH200×10,屬劇毒危害品。

     

    設備參數

    浦江磷烷氫氣混合氣技術參數表格
     

    氣體 純度 雜質含量(ppm) 鋼瓶 閥門 備注
    1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1,CO2≤0.1,N2≤0.1,O2+Ar≤0.2,AsH3≤0.1,,THC≤0.1 48.8L DISS632 100KGf/cm2
    H2: O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632

    :表中產量其成品的通篩率為99%。各項參數及外形若有變更,依發貨時隨帶的使用維護說明為準。技術參數如有變動,恕不另行通知。

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